李超波老师分别从微电子技术发展史、集成电路的制造工艺、微电子技术的应用和微电子产业的发展趋势进行了系统的介绍。

 李超波老师介绍微电子技术

   信息技术的突飞猛进，微电子技术起到了至关重要的作用。首先，什么是微电子？形象描述为一平方厘米大小的集成电路集成上亿个元件。李超波老师在对第一台计算机ENIAC、贝尔实验室的第一支晶体管到第一块集成电路Kilby、第一块商用集成电路Fairchild和处理器诞生的介绍中，给同学们呈现了微电子技术的历史进程。

   其次，李超波老师讲解了集成电路的制造工艺，概括地说是一个从“沙子”到“黄金”的过程，实际上，制造需要超过几百步工序的纳米加工。集成电路制造的主要技术为光刻技术，光刻技术是制造业的顶峰，同时，其机器光刻机是电子设备的龙头，光刻机的极限决定了微电子集成电路的极限。

   再次，李超波老师讲到无处不在的微电子技术应用，包括可见光图像传感芯片、红外线检测芯片、紫外线检测芯片、疾病检测微流体芯片、生物监测微流体芯片、医学超声影像、半导体照明技术等。

   最后，李超波老师谈及了微电子产业的发展趋势和思考，我国布局的七大产业中微电子技术渗透至多个领域。支撑中国未来发展要解决“中国芯”问题，在微电子制造技术上达到战略制高点，加剧芯片产业的垂直整合，关注物联网、智能制造、商业航天等新兴产业。对于微电子技术，同学们也踊跃提出问题，李老师进行了一一作答，讲座圆满结束。

学生提问

   李超波，中国科学院微电子研究所研究员，微电子仪器设备研发中心副主任，中科院青联委员。主要研究方向为：先进的集成电路制造工艺、装备及微纳传感技术，在等离子体微加工和晶圆级多物理场键合技术方面开展了系统的研究工作。主持完成国家科技重大专项、中科院科研仪器研制项目、北京市科技计划项目等任务，先后获中国发明展览会金奖、北京市科学技术奖三等奖、中科院青促会首批优秀会员等奖励。